Prof. Dr.-Ing.
Ulrich Hilleringmann
Leiter des Fachgebiets

Ulrich Hilleringmann leitet seit Oktober 1999 das Fachgebiet Sensorik der Universität-GH Paderborn. Er studierte von 1978 bis 1984 Physik Diplom an der Universität Dortmund, wechselte anschließend zum Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, Duisburg. Im Oktober 1985 kam er als Leiter der CMOS-Technologielinie zurück zur Universität Dortmund in die Fakultät für Elektrotechnik. Hier promovierte er 1988 mit einer Dissertation zum Thema "Laser-Rekristallisation von Silizium". Seine Habilitation schloss er 1994 mit der Schrift "Integrierte Optik auf Silizium – Ein Beitrag zur Mikrosystemtechnik" ab.

Arbeitsgebiete:

Mikrosensorik, Ätztechniken, CMOS-Technologie, Nanostrukturierung, Integrierte Optik

Hobbys:

Familie, Fliegen

Sprechstunde:

Mi. 13.00-14.00 Uhr, P1.3.03